二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8115 #9196362 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8115是一种蚀刻/灰分设备,在许多高级材料沉积和蚀刻过程中为关键器件层提供高速蚀刻和灰分。AMAT 8115为硅片半导体加工的关键应用提供了卓越的工艺性能。该系统为硅、二氧化硅、多晶硅、氮化物和金属等多种材料提供精密蚀刻和灰化。此设备由高级软件包提供支持,该软件包具有集成的内存网络和处理器,使用户能够获得最佳的性能、工作效率和成本效益。APPLIED MATERIALS 8115包括两个独立和自动化的工艺源,旨在提供最高的工艺产量。用户能够使用最新技术优化其流程,并且8115将同时运行单独的蚀刻和灰分流程配方。AMAT/APPLIED MATERIALS 8115具有全自动射频源、低存储区数据收集和晶圆配置图选择功能,允许用户为单个晶圆选择工艺目标。这样可以提高流程的均匀性,并改善周期时间。AMAT 8115有一个内置的光学机器，用于观察晶圆表面进行实时的过程监测和诊断。这允许流程优化、维护和产量改进。APPLIED MATERIALS 8115能够支持广泛的配方参数,包括高效气体输送、功率、温度、压力和腔室控制。它还提供了高速蚀刻、高效冷却和快速清除工艺残留物的严格组合。这有助于维持高度先进工艺的严格加热、冷却和蚀刻要求。此外,8115构建在开放式体系结构平台上,因此它可以轻松与其他AMAT设备和软件模块集成。凭借其广泛的功能集,用户可以轻松执行众多蚀刻和灰烬应用程序。AMAT/APPLIED MATERIALS 8115是一种紧凑有力的工具，非常适合许多先进材料的基材加工。