二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8116 #9226746 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS 8116是一款用于半导体加工的高性能蚀刻/asher设备。该系统专为薄膜的精确、精确和高度精确的沉积和蚀刻而设计。它用于清洁环境中的生产过程，适用于各种半导体材料和应用。AMAT 8116具有单片加载单元,可实现快速可靠的吞吐量。其开放式平台设计实现了高性能真空操作。该机还具有运行压力延长、控制精度高、温度均匀性等特点。APPLIED MATERIALS 8116的独立温度控制工具允许在整个沉积或蚀刻过程中进行精确的热控制。该资产具有高精度的Asher/Etcher沉积过程，包括广域和多点沉积，并能进行透膜和透氧沉积。Asher/Etcher可用于干蚀刻工艺，主要用于半导体器件中沟槽结构的形成。所有沉积和蚀刻过程参数都是通过触摸屏上用户友好的图形界面设置的。通过"即插即用"概念和高精度的温度控制来确保可靠性。该型号设计用于全天候生产模式，具备完全集成的智能设备能力。软件允许自动化的流程序列控制和监控技术。8116具有高级安全增强功能,包括基于酸的安全管理系统。安全装置包括沐浴水温和pH监测、报警系统以及适当额定的防护罩。该机还配备了50多个零件完整性监控工具，确保没有有缺陷的零件重新进入蚀刻单元并发送给客户。AMAT/APPLIED MATERIALS 8116是一种高性能、灵活的蚀刻沉积资产，提供无与伦比的沉积精度、均匀性和可重复性。凭借其独一无二的扩展运行压力、温度控制和安全系统，AMAT 8116是广泛半导体应用的完美解决方桉。