二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8116 #9250130 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS 8116是一种为半导体器件制造而设计的蚀刻器/asher。它是一种单晶片等离子体蚀刻器/asher，配备了高度可编程的控件和高均匀性。AMAT 8116主要用于集成电路（IC）设备生产。APPLIED MATERIALS 8116使用射频功率在设备周围创建一个相对低温的等离子体，然后用来蚀刻材料层。8116采用金属屏蔽（MS）腔室设计,通过最小化射频功率泄漏来优化等离子体均匀性。腔室还利用平行板电极，以确保均匀性和相配的等离子体密度跨越晶圆的直径。此功能允许将小的隔离区域精确地制作到最小的规格。AMAT/APPLICED MATERIALS 8116还具有超高真空（UHV）机械泵，可处理Ge/Si、SiGe/Si等高性能材料。此外，由于其高精度气体输送系统，AMAT 8116能够达到精确蚀刻操作所需的精确工艺条件，如脉冲和自旋蚀刻。其他高级功能,例如可调节的狭缝和可调节的淋浴高度,可以精确控制蚀刻几何形状和均匀性。APPLIED MATERIALS 8116是交钥匙就绪,提供卓越的性能和可靠性。利用脉冲技术，可以实现高通量纳米和亚微米的最小特征尺寸。8116是基于IGBT的,由可扩展电源供电,可针对特定蚀刻过程进行调整。其优异的等离子体均匀性、较低的运行成本和灵活性，使其成为先进设备制造的理想选择。