二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8300 #101449 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 Asher/Etcher是一种两级、高通量、光刻兼容的热化学加工设备，设计用于蚀刻或粉刷各种材料，包括二氧化硅、石英、硅、移植物和其他半导体。该系统能够以高速（每小时超过90个晶圆）和高均匀性运行。AMAT 8300单元配备了高真空、多步asher平台和高性能、低真空asher/Etching室，方便了工艺的吞吐量。高真空机可以达到高达1.2E-7 torr的压力，允许整个过程的均匀性。针对低真空操作对透晶片加工室进行了优化。高通量蚀刻/灰化室包括工艺气体选择、气流控制器和温度控制器。所有这些组件都经过敏感的温度监测和/或处理,以确保对过程的最佳控制。最终结果是具有出色的边缘清晰度、较低的薄片电阻和最小的载荷效果,并在不同类型的灰烬或蚀刻器中进行了典型的改进。APPLIED MATERIALS 8300的特点是有专利，无电极等离子体源装载稀有气体，提供了高可预测性的工艺参数。这样可以确保整个过程的一致性。该工具还配备了上游气体箱和气体溷合资产，使加工气体能够随着温度控制得到准确和精确的测量和监测。8300是为卓越的吞吐量而设计的。高真空模型每小时可处理多达90个晶片，低真空设备每小时可处理45个晶片。这意味着它能够快速处理大量不同大小和厚度的晶片。AMAT/APPLICED MATERIALS 8300还提供了极大的易用性,其直观的用户界面（UI）使用户能够轻松设置和运行流程。UI包括高级工具,如配方库、流程监视器和历史记录。这使用户能够快速分析其流程的性能并进行相应调整。总体而言,AMAT 8300 Asher/Etcher是一个极其坚固可靠的系统,可用于高级工艺的各种材料的蚀刻/灰化。它专为高吞吐量和统一性而设计,并提供了一个用户友好的界面,可快速轻松地设置和运行流程。APPLICED MATERIALS 8300提供出色的工艺效果以及极大的灵活性和可扩展性。