二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8300 #293610283 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS 8300是一种多功能蚀刻器和asher设备，设计用于半导体基板的复杂阵列。该系统将深反应性离子蚀刻（DRIE）和等离子体灰化结合在一个单元中，从而可以快速制图高性能设备。AMAT 8300可用于加工8英寸晶圆大小的基板,并具有可扩展的工艺窗口以容纳各种基板和工艺参数。对于蚀刻，机器使用嵌入在轻质玻璃纤维机身中的先进的感应耦合等离子体（ICP）源来提供高蚀刻速率吞吐量。该ICP源的设计采用了一系列可调节的参数,用于低成本生产。Ashing是通过将含氧气体如O2或O3引入反应室中，然后用外部等离子体源激活气体来完成的。这种等离子体灰化允许以非接触方式控制沉积和/或去除材料。该工具的设计具有很高的可靠性和可重复性,其自动化工艺配方允许对工艺参数进行微调以达到最高规格。APPLIED MATERIALS 8300具有较长的工作寿命和高精度,非常适合制造各种设备,包括数字、模拟和高速内存部件。8300带有一台车载微型计算机,可进行远程监控,而大型查看窗口可轻松查看内部进程室。为确保精度和质量,AMAT/APPLIED MATERIALS 8300配备了专用的过程控制和计量系统,并在该过程中自动调整蚀刻参数。最后，AMAT 8300附有全面的安全包。QSX软件套件允许自动监视流程参数和潜在故障点,并在出现任何潜在问题之前发出警报。反应室的锁和灭火装置等安全特性确保模型符合所有安全法规和协议。总体而言,APPLIED MATERIALS 8300是一款功能强大且可靠的蚀刻和灰化设备,旨在实现最佳的生产效率和质量。