二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8300E #9177298 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 8300E 蚀刻器/asher是表面微加工和半导体应用的重要工具。它是为高级蚀刻和灰化操作而设计的高性能设备。AMAT 8300E提供了对蚀刻参数的精确控制，并提供了广泛的可选工艺气体和配方设置，以满足现代微电子制造设施的需求。APPLICED MATERIALS 8300 E配备了一个溷合快速热氧化/扩散（HRTOD）工艺室，具有对温度、压力、时间、流量等工艺参数的精确控制。在同一室采用快速热处理和化学解离工艺的独特能力提供了最高质量的等离子体蚀刻和灰分工艺。它还包括25°至850°C的主腔室温度范围、石英视图窗口以及高达20 mTorr的工艺环境。该系统还配备了一个氧化物去除装置（ORS），用于安全清除铝硅酸盐基板上发现的矿物残留物和以往加工程序遗留下来的其他残留物。ORS具有集成的气体喷射器,可快速分解和去除薄膜表面的氧化物、氮化物和金属。AMAT 8300 E为优化蚀刻控制（OEC）提供了高效射频发生器,实现了蚀刻参数的精度和改进的工艺结果。该机还具有独立的气体注入功能，使用户能够为各种蚀刻工艺选择理想的参数，并针对所需的结果进行优化。除了蚀刻和灰化外，APPLIED MATERIALS 8300E还为各种材料提供一系列的蚀刻后操作，包括使用基于质粒的氢气工艺或O2-based工艺进行等离子体后清洗。AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 E还提供了一种自旋清洁操作，无需人工擦拭即可清除加工基板上的残留颗粒。8300E是一种高度机动性的工具,可轻松集成到现有的制造环境中,能够满足当今最新的先进半导体加工技术的最严格要求。
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