二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8300E #9244442 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8300E Etcher/Asher使用下一代10KW ICP蚀刻技术,以便在高级工艺节点中快速准确地蚀刻高纵横比结构。这个系统是专门为蚀刻多种不同的材料而设计的，如硅、多晶硅、钨、铜、Ni/V/Ti、III-V化合物等难以蚀刻的材料。此外,AMAT 8300E与温度有关,可以微调蚀刻参数以适应高变化过程。APPLIED MATERIALS 8300 E能够缩小到高纵横比结构,从而能够为5nm及以下工艺节点制造创新组件。它还结合了多点给药、原位双方向清洁以提高整个设备的纯度等几个非视线特性，以及使用电介质进行轮廓修改。这大大提高了蚀刻工艺的质量。AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 E还具有先进的监控功能；其集成的过程监控与后端支持、自定义扩散退出控制以及高级产量管理相结合,有助于最大限度地降低成本并减少停机时间。它还配备了高效的软件算法，为工艺室精确调节流量、压力和温度。8300E提供了更高的可靠性和更高的性能,降低了拥有成本并提高了生产率。APPLIED MATERIALS 8300E还支持跨多个站点的多工厂操作。其多区域功能使用户能够配置不同的蚀刻参数，最大限度地提高其工艺能力。8300 E Etcher/Asher是一种最先进的蚀刻解决方桉,可在高级工艺节点中提供高水平的灵活性、生产率和可靠性。