二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #293619542 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 Etcher/Asher是半导体製造中使用的一种工具，旨在提供精确且化学控制的蚀刻工艺。该设备使化学蚀刻能够精确控制化学反应参数和蚀刻化学。用于蚀刻或成形多种材料，包括金属表面、二氧化硅（氧化硅）、氮化物和聚合物。AMAT 8310由一个定速转盘、一个容纳蚀刻化学品的腔室和一个气体进料子系统组成。转盘被设计成以可靠的速度精确旋转基板，以便均匀地应用蚀刻化学。蚀刻室包含一系列涂有特氟隆的电极，每个电极都提供受控量的蚀刻药剂。气体进料子单元向腔室输送一系列气体，如CF4、O2和N2，为化学蚀刻过程提供了最佳环境。该过程是通过将基板装入机器内的高真空室启动的。转盘的机械旋转由可调速电动机控制，蚀刻化学由自动化学输送工具提供。气体进料子资产随后将引入支持蚀刻过程所需的适当气体，而腔内的电极将产生蚀刻化学品的均匀分布。然后对腔室进行加压，使其达到进行蚀刻所需的温度和压力。然后用射频发生器和监测模型监测该过程。该设备控制施加到晶片上的射频功率，确保蚀刻以正确的速率进行。监视器还显示工艺参数信息，显示取得的蚀刻程度、蚀刻完成前剩余的时间以及腔室当前的工作温度和压力。一旦蚀刻完成，腔室通风、降压、冷却。然后将基板从腔室中取出并用光学显微镜检查，以验证所需的图样和表面地形。APPLICED MATERIALS 8310能够在无需人工干预的情况下处理数千种基材，确保快速可靠的蚀刻。