二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #293619543 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 蚀刻器/asher是半导体制造商使用的一种高级蚀刻/灰化工具。它是一种反应性离子蚀刻（RIE）设备，能够提供有效的工艺结果。它利用最新的技术进步，包括先进的温度补偿和智能软件算法来控制反应速率和确保有效的过程。AMAT 8310 蚀刻器/asher系统由几个组件组成。这包括一个感应耦合等离子体（ICP）源、一个处理外壳、一个运输台和真空室。ICPsource采用高频施加电压和强磁场，生成一个填充等离子体的反应室，用于半导体材料的反应性离子蚀刻。处理外壳为半导体基板的自动加载、卸载和处理提供了一个安全的环境。运输表确保在蚀刻/灰化过程中基板的精确对齐。最后，利用真空室实现了控制蚀刻和灰化过程所需的工艺压力。APPLICED MATERIALS 8310 蚀刻器/asher单元还采用了先进的温度控制技术，并采用了专有的大气控制机（ACS）。这样就可以统一冷却过程并避免热点,从而提供更好的过程控制和可重复性。此外，ACS有助于减少晶片表面的氧气和其他气体的数量，从而对工艺性能和可靠性产生负面影响。8310蚀刻器/灰烬工具提供了出色的蚀刻/灰烬配方,可根据应用程序的特定要求量身定制。由于其高度精确的过程控制功能,资产能够提供可重复的结果并确保材料质量。综上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 蚀刻器/asher模型是一种先进的设备，它结合了最新的技术进步和坚固可靠的部件。它提供了出色的过程控制和可重复性,以及可针对特定需求量身定制的卓越蚀刻/灰分配方。这些因素使得AMAT 8310 蚀刻器/asher系统成为寻求在蚀刻/灰化过程中取得优异成绩的半导体制造商的理想选择。