二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #293619544 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 8310
ID: 293619544
晶圆大小: 6"
优质的: 1990
Oxide etchers, 6" 1990 vintage.
AMAT(应用材料)AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 蚀刻器/Asher是一款先进的氧化蚀刻器,旨在满足最高的工业需求。该设备采用精湛的工程和工业级部件来构建,以提供卓越的性能。这种热氧化蚀刻器非常适合Si、Ti、Ni和Nb等材料,以及其他金属和合金。该系统包括开放式体系结构和模块化紧凑设计,使得安装和维护非常容易。AMAT 8310 蚀刻器/asher单元由三个主要组件组成:加工室、过程控制器和电源。该加工室采用垂直室照明器,产生高均匀性,允许均匀的气流和均匀的蚀刻/灰化结果。流程控制器具有直观的用户界面和可定制的编程功能,可为各种蚀刻操作提供精确的控制设置。而电源则提供全波功率控制,以精确控制蚀刻温度。APPLIED MATERIALS 8310 蚀刻器/asher可以对Si和眼镜等材料进行高级氧化蚀刻,也提供低应力氧化物剥离特性。该机器可以编程为在高达900 °C的温度下处理材料。该工具还提供了排气速度控制,以最大程度地减少对样品的应力,以及一个气体观察端口,用于实时观察蚀刻过程。除了提供对蚀刻工艺的精确控制外,8310 蚀刻器/asher还包括许多有用的功能。其中包括用于精确可视化蚀刻过程的热像仪,以及对氧化物层的精确厚度和速率控制以及精确深度控制。资产还包括智能数据采集模型和增强的可追踪性包,以确保最高质量的结果。设备还可以编程为执行各种特定的蚀刻任务,如浅蚀刻和深蚀刻。AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 蚀刻器/asher是一款工业级的氧化蚀刻器,旨在满足当今业界的需求。这种可靠可靠的蚀刻器由先进的工程和部件构成,可提供高效、均匀和受控的材料氧化蚀刻。凭借其直观的编程和精确的控制,为各种蚀刻操作提供了理想的解决方桉。
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