二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #9196363 待售
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ID: 9196363
晶圆大小: 6"
Metal etcher, 6"
With pump
RF Rack and controller
AMAT Controller unit
AMAT 0010-00141 Rack, 8300E
LEYBOLD HERAEUS
Type: 720-26-000
Chamber: AMAT Pre-reactor.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 Asher是一种集成蚀刻设备,用于基材清洁和蚀刻过程。该蚀刻系统专为高性能而设计,具有300 mm晶圆尺寸。该蚀刻器具有高达每小时30个晶圆的高吞吐量,使得它非常适合生产环境。该单元在可以使用的蚀刻气体中具有柔韧性,由于其热板设计,能够达到高达500 °C的温度。它配有Class-1安全室,提供良好的热均匀性,最高温度变化为1 °C。AMAT 8310 Asher使用高精度浮雕机构对薄膜进行精确蚀刻。它具有强大的硬件和软件功能,允许用户轻松调整压力和气体浓度。其先进的等离子体机器减少了停机时间,并提高了等离子体的生成和处理能力,确保了高质量和可靠性。该蚀刻器以更高的速度和精度提供循环时间,从而减少了生产所需的时间。它同时配备了射频和直流电源,允许它同时蚀刻高低介电材料。该控制软件设计用于在蚀刻过程中监控每个晶片,以确保均匀性和质量。APPLIED MATERIALS 8310能够处理和清除极端污染,使用户能够快速轻松地解决过程问题。该工具能够处理高水平的静电和田间颗粒,提高清洁度,提高产量。总体而言,8310 Asher是一种高性能蚀刻资产,可提供高质量的蚀刻和清洁度。它易于使用,具有良好的热均匀性,对于需要高通量和出色蚀刻质量的生产环境而言,是一个极好的选择。
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