二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #9365710 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310（AMAT 8310）是一种自动化的等离子体蚀刻器/灰化器，设计用于高通量和精确蚀刻/灰化图样基板。该设备能够对SiO2、SiN、Si3N4、聚酰亚胺、金属、氮化物等多种材料进行蚀刻/灰化。该系统配备了可调双电子束枪、集成视觉单元和多站机器人操控机。APPLIED MATERIALS 8310由真空室、隔离室和双电子束枪组成。真空室提供了精确图样蚀刻/灰化所必需的均匀等离子体环境。隔离室允许气体在惰性大气中注入工艺室，紫外线辐射从工艺区阻挡，减少污染。双电子束枪是蚀刻器/灰化器中最重要的部分。电子束提供等离子体精确活化所需的能量。这样可以提高蚀刻/灰化过程的吞吐量。双枪技术有助于在需要多个蚀刻级别的情况下消除重新放置基板的需要，从而减少蚀刻/灰化的总时间。8310配备了对准、现场检查、模式识别的集成视觉工具。这样可以确保图桉精确对齐,并且基板符合制造商的规格。此外，利用多站机器人处理资产提供额外的基板处理灵活性。这有助于减少人工干预的数量，从而显着提高吞吐量。最后,AMAT/APPLIED MATERIALS 8310专为大批量生产而设计,它有一个扩展的数据库,允许用户存储特定材料蚀刻/灰化过程的配方。该型号还提供了三种不同的操作模式：手动、半自动和自动-每个模式都为各种应用程序提供最佳性能和稳定性。总之，AMAT 8310提供了一种自动化、高通量、精密的蚀刻/灰化设备，能够通过集成视觉系统和多站机器人操控单元，加上可调节的双电子束枪来进行广泛的材料蚀刻/灰化，以实现高精度。