二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310A #9356368 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310A是一种由真空室组成的蚀刻器/灰化器设备,为湿法和干法进行灰化和蚀刻提供了必要的环境。AMAT 8310A独特的模块化体系结构允许快速交换组件和保持真空的灵活性。它的额定功率和高容量的集成源技术使灰度和蚀刻过程能够快速、高效和可重复。重型真空系统用热能或射频能源安全灰烬、蚀刻、干洗，确保操作员安全，同时优化物料去除。APPLICED MATERIALS 8310A配有AMAT ED3控制单元，可严格控制灰度/蚀刻过程和真空机管理。其独立测试和认证的封口、环境密封和经过验证的过程管理确保了一个可靠和一致的过程。此外，先进的泄漏测试和真空稳定性检测确保了工具及其部件的安全性。8310A适合各种灰泥和蚀刻工艺，包括干湿蚀刻。干蚀刻过程，例如等离子体蚀刻，涉及产生热量或射频能量，以最精致的方式去除材料。AMAT/APPLIED MATERIALS 8310A可自动控制工艺参数,例如压力、温度、气流和气体成分,从而能够快速设置和优化灰度和蚀刻配方。高级远程控制资产提供了对蚀刻器/asher的数据和操作的安全控制,并提供了远程诊断错误和访问媒体存档的选项。它还提供灵活的配置和过程监控,内置振动检测模型,允许实时监控过程条件。除了加强和自动化蚀刻和灰化工艺的各种技术外，AMAT 8310A还提供了一些提高效率的功能，如缩短周期时间和提高生产率。它的模块化结构提供了最大限度的过程控制空间，可以进入各种腔室和多种能源。这使得设备能够有效地灰化、蚀刻和干洗各种材料和基材。APPLIED MATERIALS 8310A非常适合需要快速、高效和可重复的蚀刻和灰化工艺的行业。