二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #199197 待售
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ID: 199197
Metal etcher, 6"
EASE package but buffer wafer stations
Software Version- R.0.2
TMP450 turbo
Cryo compressor not included
Generator not included
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AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 Etch/Asher是一种特殊的设备工具,用于通过去除介电层(如聚酰亚胺或硬掩模层)中的材料来创建稳定、高度精确且经常复杂的结构。AMAT 8330提供了业界领先的蚀刻一致性、可靠性和精确度组合,以满足最苛刻的蚀刻处理要求。应用材料8330利用双波能量,在蚀刻过程中保持蚀刻速率均匀。这使得它适合用二维蚀刻蚀刻上表面,而不是一维蚀刻工艺。该工具还提供了自动端点检测功能,可以准确检测完成过程的时间。这允许在操作人员参与的最小情况下进行短的、可重现的蚀刻时间。8330采用先进的14室设计,提供卓越的精度和精确度。该工具采用低压高密度等离子体技术,允许精确设置工艺参数,并保持一致,而不会过度蚀刻或不足蚀刻。另外一个好处是,等离子体技术需要最低限度的维护,延长机器的寿命。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 Etch/Asher也与一系列气体兼容,如氯、氙和NF3,使其适合蚀刻多种介电材料。等离子体的施加力也保证了光滑、均匀、可预测的蚀刻轮廓,而不会形成尖峰。AMAT 8330是复杂基材制造中必不可少的工具。其先进的功能集和精确的机器操作使它能够通过即使是最苛刻的过程提供可靠和一致的蚀刻性能。这使得它成为精确度和准确性至关重要的应用的理想选择。
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