二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #293652763 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 8330
ID: 293652763
晶圆大小: 6"
Etchers, 6".
AMAT/APPLICED MATERIALS 8330(AMAT 8330)是一种用于制造集成电路、薄膜晶体管等技术的蚀刻/灰烬设备。它是一个独立于平台的系统,可以修改后与硅、钨和铝等多种膜加工化学物质配合使用。APPLICED MATERIALS 8330单元是一个先进的模型,具有一个大腔室能够蚀刻/灰化基板直径达375mm。它采用高压干蚀刻技术,允许用户在对易碎基板造成最小伤害的情况下实现高分辨率和长宽比蚀刻。它拥有一台以氙气灯为基础的光学机器,使得膜和基板之间的对比度非常好。8330提供了优异的工艺性能,得益于其快速的热循环时间、高蚀刻速率和精度的高压反应性离子蚀刻技术,以及容纳更大基板的大腔室尺寸。它提供了一个小腔室设计,用于可靠,低缺陷的处理,和可调节的温度控制精确控制蚀刻参数。该工具还提供了出色的工艺均匀性,使用户能够在整个晶圆表面实现均匀的长宽比和表面光洁度。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330资产的其他特性包括变频等离子体源以提高蚀刻选择性,以及基于计算机的控制模型以简化操作,以及以太网的远程机器监控能力。它还具有用于预处理作业的内置加热元件、用于废物收集的盐酸过滤设备以及用于高效真空过滤的冷藏装置。该系统专为实现最大通用性而设计,易于维护和维修。总体而言,AMAT 8330是一个先进的蚀刻/灰烬平台,在各种基材上提供严格的蚀刻结果。其特点使其非常适合生产集成电路、薄膜晶体管等技术。它的设计目的是提供可靠、统一的结果,同时尽量减少对细腻基板的损害。凭借其先进的基于计算机的控制和以太网功能,它是许多不同应用的理想单元。
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