二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #293766202 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8330蚀刻器是一种独一无二的半导体蚀刻设备，设计用于半导体和先进材料开发领域的先进研究。这种高度先进的蚀刻系统可提供高吞吐量、灵活性和生产可扩展性,以满足最具挑战性的研发需求。AMAT 8330蚀刻器具有同时分级多个晶片和快速处理这些晶片的独特能力。该工具还能够支持一系列配方以优化蚀刻工艺条件。APPLIED MATERIALS 8330蚀刻器利用其先进的多晶片分级能力,一次同时处理多达四个晶片,处理周期每晶片不到1秒,而标准处理时间长达10分钟。蚀刻器既有干蚀刻部分，也有可选的湿蚀刻部分，两者都能够提供高通量、精确的蚀刻过程。此外,该工艺室还配备了一个用于快速晶圆传输的旁路插槽.8330蚀刻器的工艺室经过专门设计，以促进均匀性和优越的工艺控制。它利用直接驱动气体扩散泵进行压力控制，并选择静电和化学机械力来维持一致的压力。重力相位和频率控制单元还提供了对蚀刻过程中定时和压力的精确控制。这台先进的蚀刻机采用易于使用的Job Modeler设计,可精确控制蚀刻配方。Job Modeler允许用户保存自定义配方并轻松回忆它们,从而消除了每次花费时间编写和优化配方的需要。此外,Job Modeler还包括几个自动化的流程管理和工作流工具,以帮助减少用户操作员的错误。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330蚀刻器还采用了创新的真空工具,用于均匀的基板加工。该资产使用一系列集成的气流传感器和CFD模型来分析工艺室内的压力分布，以提供适当的工艺均匀性。此外,基板管理模型允许用户对类似的胶片或设备类型进行分组,并相应地调整参数。最后，AMAT 8330蚀刻器配备了广泛的监控工具。这些工具允许用户持续监控工艺室的压力、气流和温度，从而确保晶圆处理参数在整个蚀刻过程中保持一致。这些监控工具对于发现蚀刻过程中的任何潜在错误以及确保设备晶片被正确蚀刻是非常宝贵的。