二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9076176 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS 8330 Etch/Asher是一款紧凑、经济高效且高产的机器，设计用于半导体应用中的多层蚀刻和灰化。它是一个双室系统，由一个蚀刻室和一个灰化室组成，允许用户在一台机器中进行蚀刻和灰化操作。AMAT 8330旨在最大限度地提高大批量生产的吞吐量,每小时可处理多达150个晶圆。蚀刻器/asher利用先进的、精确的射频等离子体技术，将过程气体电离，以产生体积的射频等离子体，该等离子体均匀地分布在晶圆表面上。这种均匀、一致、可调的工艺气体波形允许精确的蚀刻速率和出色的工艺均匀性。APPLICED MATERIALS 8330将蚀刻和灰化操作整合到一台机器中,消除了单独蚀刻和灰化设备的需要,并为大容量晶圆制造操作提供了单源解决方桉。8330具有高级编程、过程监控和系统维护功能。其高级HMI（Human Machine Interface）允许用户通过触摸屏或鼠标/键盘轻松配置、监控和控制流程参数。此外,该机器还包括多种模式和功能,使用户能够对数百种配方进行编程、存储和监控,以进行复杂的生产操作。高级流程监控功能提供了对流程条件的实时监控,允许精确的流程控制,并允许用户轻松排除和调整参数以优化性能。Etch/Asher包含最多可容纳八种工艺气体的容量，并拥有350 mTorr的最大压力能力。该系统配有主动夹紧式6英寸晶片负载锁，有助于确保工艺的可重复性、基板对基板的均匀性和优异的收率。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330专为多功能、大批量生产能力而设计，非常适合广泛的工艺步骤，包括干蚀刻、半导体器件制造、介电加工和晶片粘合。它是一款极具效率的机器，紧凑的设计占用极小的地板空间，维护要求低，界面人性化，使其成为许多生产操作的理想选择。