二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9184414 待售

ID: 9184414
晶圆大小: 6"
Metal etchers, 6" Spare parts included Includes: Cryo compressors Bell jars PM Kits Chamber parts Robot parts RF Generators RF Matches.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 蚀刻器/asher是一种全面、经济实惠的工具,用于蚀刻和灰分材料,如硅、金属、聚合物和玻璃。这一设备旨在为半导体、MEMS、医疗、光电和汽车工业中的晶圆提供高效、精确的蚀刻或灰化。AMAT 8330 蚀刻器/asher提供各种基板的高性能蚀刻、清洁和粉刷,包括硅、二氧化硅、金属、金属氧化物、蚀刻止动材料、钝化氧化物和焊膜。它与光致抗蚀剂材料兼容,设计为蚀刻宽纵横比图桉,具有锐利的垂直轮廓,不会损坏或变色基材材料。该系统具有高级工艺,如反应性离子蚀刻(RIE)、射频(RF)蚀刻和用于超浅结蚀刻的多步蚀刻(USJ)。APPLICED MATERIALS 8330 蚀刻器/asher由于具有独立的工艺气流控制的大型工艺室,能够在整个晶片上提供高重复性和优异的均匀性。该机组还配备了内部冷却机,减少晶片热损伤,确保多层材料均匀蚀刻。该工具配备了一个综合视觉资产,用于检查正在蚀刻的材料是否存在缺陷。8330 蚀刻器/asher设计用于高吞吐量和高质量的结果,同时自动处理多达五个晶片。该模型的高级软件允许用户自定义工艺参数以获得最佳蚀刻速率、可重复性和质量控制。设备设计方便维护,运营成本低。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS 8330 蚀刻器/Asher是一种经济高效的精密工具,可为半导体、MEMS、医疗、光电和汽车行业的材料提供多种蚀刻和灰化技术。凭借其先进的功能,如宽宽高比图样的无功离子蚀刻、热冷却系统、高通量功能和自动化维护,此设备是任何寻求经济高效蚀刻或灰化解决方桉的人的理想选择。
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