二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9210300 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 8330
ID: 9210300
晶圆大小: 6"
Metal etcher, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330是一款高精度的蚀刻器/asher。它可以在材料表面精确蚀刻图桉。蚀刻是一个减法过程,其中一层浅层材料被移除,留下一个所需的图样在底层。AMAT 8330使用等离子体蚀刻来去除其指定图样的材料。APPLIED MATERIALS 8330所使用的等离子体蚀刻技术可以处理多达6 "x6"或150 mm的基板,使其非常适合需要小零件精确蚀刻的应用。蚀刻器还可以一次处理多种底物,并可用于蚀刻硅、砷化​​氙(GaAs)和磷化铵(InP)等材料。蚀刻可以采用湿法或干法进行,并具有各种形状和大小。8330还具有进行溅射蚀刻、浅沟隔离(STI)、屏障侧墙植入等先进工艺技术的能力。这些技术有助于确保被蚀刻的材料具有一致和统一的轮廓。此外,蚀刻器具有广泛的蚀刻速率,从几微米到许多毫秒。它还具有广泛的加工气体,包括氧气、氢气、氦气、氮气和二氧化碳,以及其他惰性气体。该设备在工具可用性方面也非常高效。AMAT/APPLICED MATERIALS 8330设计用于在一次运行中处理多个配方,并且可以轻松修改以适应不断变化的工艺要求。此外,它的自动化接口使系统更容易集成到生产环境中,而且广泛的压力、温度、电压和气体流动水平使其能够针对多种应用进行定制。最后,AMAT 8330还考虑了安全性,因为它有一个冗余的安全互锁单元,可以防止蚀刻过程的任何意外激活。这台机器包括一个可编程计时器、气体和真空传感器,以及一个可以在任何进程开始前锁定的互锁开关。这允许在机器使用时增加一层安全性。总之,APPLICED MATERIALS 8330 蚀刻/asher机是一种高精度的工具,用于将图样和形状蚀刻到各种表面材料上。凭借其先进的工艺技术、多种工艺气体选项和安全措施,该蚀刻器为广泛的应用提供了绝佳的选择。
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