二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9238714 待售

ID: 9238714
晶圆大小: 4"
Dry etchers, 4".
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 蚀刻器/asher是一种高度先进的工具,用于晶圆加工和相关应用,如化学机械平面化(CMP)和三维(3D)图样。它专为尺寸不超过200毫米的晶片的快速、精确和一致的蚀刻和灰化而设计。AMAT 8330提供蚀刻过程控制、自动化和安全功能,以确保精确和可重复的晶圆处理。APPLICED MATERIALS 8330具有获得专利的隧道设计和先进的真空互锁技术,可加快蚀刻和灰化过程,同时保持空气/气体的最佳流动以实现均匀蚀刻。它利用单缝喷嘴,可以调整到腔壁上的不同设定点,以改变蚀刻速率,以进行更精确的蚀刻。独特的工艺室确保所有晶圆尺寸的均匀蚀刻。此外,它可以在批量或单晶片模式下操作,以获得最大的灵活性和效率。8330 etcher/asher还提供了多种过程控制来源。它配备了高精度的原位光学剖面仪,可以连续测量腔内的蚀刻深度。该过程还可以通过基于云的安全控制系统进行远程监控和控制,从而实现快速、安全的蚀刻操作。带有双气体传感器的车载安全系统监视腔室环境,并自动调整压力、流量和温度,以确保安全和可重复的过程。此外,集成的软件和硬件系统能够自动调整流程参数,并对突然的变化做出快速响应。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 蚀刻器/asher是晶圆处理及相关应用的理想工具。其先进的功能和灵活的操作使晶片能够更好、更快、更安全地蚀刻和粉刷200毫米大小的晶片,以用于各种工艺。它旨在提供高精度蚀刻、更快的晶圆处理以及更大的工艺控制和安全性。
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