二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9365711 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8330是一款高级蚀刻器和asher,专为最具挑战性的蚀刻和灰化要求而设计。它利用反应性离子在硅片、MEMS、成像和显示器等基板上实现精确蚀刻和灰化。AMAT 8330具有专有的过程集点优化（PSO）功能,能够更好地控制蚀刻过程参数,如轮廓均匀性、可重复性、可重复性、边缘曲率和可重复性。为保证蚀刻过程的均匀性和稳定性，APPLIED MATERIALS 8330配备了一系列自动温度控制机制。8330的吞吐量高达每小时200晶圆，这取决于工艺要求。还配备了非反应性腔室，具有高精度、高密度、高选择性蚀刻工艺的优异性能。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330还提供了一个用户友好的图形用户界面（GUI）,其中包含嵌入式高级配方,以帮助最大限度地提高工艺条件并加快吞吐量。AMAT 8330还能处理不同厚度的底物，包括聚酰亚胺等薄层。它还配备了改进O2-free处理的氮气净化设备，以确保结果一致，即使在处理同一层堆栈的基板时也是如此。APPLICED MATERIALS 8330提供完整的自动化晶片处理系统,以及直径8英寸以下基板的快速锁定卡盘技术。它还有一个综合视觉单元，允许自动晶圆对准和监测，以加强过程控制。该发动机能够处理高压集成,以实现高效冷却和蚀刻。它也适应室内配方，在多步骤过程中更好的工艺优化。8330蚀刻器和asher是一种有效、可靠的高级蚀刻和ashing工具。其精巧的设计提供了精确、可重复和可重现的处理结果。此外，其庞大的吞吐量和集成的视觉机器提供了一个最佳的方式，以最大限度地提高硅片和基板多层堆栈的效率。