二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330A / 8330 #9276839 待售

AMAT（应用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS 8330A/8330是一种用于制造操作的蚀刻器/粉碎器。它是一种经济高效的高通量设备,在蚀刻和灰化过程中提供卓越的性能。该系统设计用于同时处理多个应用程序，允许单个操作最多8个晶圆容量。该机配备了先进的真空装置，能够对所有蚀刻和灰化过程任务进行精确的温度和过程控制。作为蚀刻机，AMAT 8330A/8330有两个主腔室-一个用于金属，另一个用于绝缘蚀刻。金属蚀刻室利用反应性离子蚀刻（RIE）功能提供了优异的各向异性蚀刻效果。此外，由于内置自动温度控制器，可以实现对腔室压力、温度、气流和射频功率的精确控制。绝缘蚀刻室由一个感应耦合等离子体（ICP）源组成，使得热稳定基板能够蚀刻。自动热控制器对所有蚀刻操作提供精确的温度和过程控制。此外，该工具还配备了高级级-1000晶片处理资产，提供快速晶片加载、卸载和操作以及节省时间的晶片对准。在灰化功能方面,APPLIED MATERIALS 8330A/8330型号具有单一腔室配置,可实现快速高效的灰化过程。该室配有石英船和内置的自动温度控制器，对灰化过程提供精确的温度控制。这有助于提高工艺的均匀性、可重复性和产量。设备还包括流程故障诊断程序,可快速诊断任何故障。总体而言,8330A/8330是一个功能强大的高通量蚀刻和灰化系统。该装置具有先进的特点，可提供精确的温度和过程控制，从而在所有蚀刻和灰化过程中获得最佳效果。它是各行业先进的灰泥和蚀刻应用的理想解决方桉。