二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8336 #9226747 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 Etcher/Asher是半导体和电子制造商使用的一种设备,用于从各种材料中创建所需形状和尺寸的纳米结构。这种设备能够用金属、聚合物、抗性材料和电介质生产结构。AMAT 8336 蚀刻器/Asher可以执行两种主要形式的蚀刻技术，包括深反应性离子蚀刻（DRIE）和各向异性蚀刻。进行DRIE蚀刻的能力是MEMS（微机电系统）和微流体制造的关键，因为它在蚀刻过程中具有很高的选择性。各向异性蚀刻通过控制蚀刻工艺参数的组合，如压力、温度和蚀刻气体的使用，提供了可控的蚀刻速率。APPLICED MATERIALS 8336 Etcher/Asher由两个主腔室组成；一个用于蚀刻的下部等离子体腔和一个用于容纳晶片的上部负载锁腔室。下腔采用法拉第屏蔽保护正在加工的晶片不受电弧和其他等离子体相关问题的影响，还采用陶瓷分离器，有助于保持高达5x10-5 Torr的工艺室真空。上腔最多可容纳15个晶圆，并配有温度控制的卡带，用于精确的晶圆装卸。8336 Etcher/Asher使用三步工艺进行蚀刻，其中晶片涂有光致抗蚀剂层，采用所需的设计图桉，然后使用深反应性离子蚀刻（DRIE）或各向同性蚀刻工艺进行蚀刻。过程中使用各种气体，如氧气、氟气和氮气，与射频功率溷合使用，可在0至300瓦之间调节。AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 Etcher/Asher还具有智能温度控制系统,可监控和调整工艺室内的温度,确保整个操作过程中均匀加热。该系统还包括一个温度过高的保护功能，可以设置为在温度过高的情况下中止蚀刻过程。AMAT 8336 Etcher/Asher包括旨在提高结果准确性和质量的附加组件,例如用于在蚀刻过程中监视的查看窗口,以及保存以前的过程设置以实现可重复结果的功能。此外,APPLIED MATERIALS 8336 Etcher/Asher经认证可兼容多种安全标准,如ANSI/IEEE/UL-CSA-499、UL-60079和NFPA70。所有这些特性和安全注意事项相结合,使8336 Etcher/Asher成为蚀刻和灰化操作的可靠且高效的选择。