二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8336 #9250132 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 8336
ID: 9250132
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
Oxide etcher, 6" 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 蚀刻器/asher是一种多用途设备,专为各种蚀刻、清洁和灰化工艺而设计。该系统采用了最新的射频等离子体技术,提供了最高水平的均匀性和可重复性,允许严格的过程控制和快速的循环时间。该单元由几个组件组成,包括射频发生器、Asher Head/Tower、Chamber/Process Vessel、Process Gases和Vacuum Equipment。AMAT 8336先进的射频发电机为Asher Head提供工艺电源,从而有效地创建蚀刻和清洁过程所需的等离子体。腔室/容器容纳晶片基板并保护Asher Head和Process Gases免受污染。用户控制的工艺气体通过由Asher Head控制的喷嘴输送,以覆盖基板的适当区域。APPLICED MATERIALS 8336's Vacuum Equipment Encludes all components of the substate chamber and maintaining the vacuum environment, surp8336可以蚀刻和清洁多种材料,包括硅、多晶硅、玻璃、低k电介质、金属、抗蚀剂、氧化物和氮化物,允许精密加工。其专有的Cross-Ladder Technology以极紧的蚀刻均匀性支持更高的吞吐量。此外,它还可以实现高达100:1的高长宽比蚀刻,非常适合更高级的工艺应用。该机器还提供了一系列过程监测功能,包括原位气体分析仪、端点检测和晶圆映射,使用户能够完全控制其蚀刻/灰化过程。此外,智能控制的工具有助于最大限度地降低人工成本并减少生产过程中的瓶颈。AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 蚀刻器/asher是一项可靠且用途广泛的资产,能够实现准确且可重复的蚀刻和清洁结果,并具有高通量性能。其卓越的过程控制、先进的技术和监控功能相结合,确保用户在节省时间和金钱的同时获得最高质量的结果。
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