二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AME 8100 #9178965 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AME 8100是一款Asher/Etcher，设计用于从基板表面可靠地、准确地去除材料。该设备在蚀刻过程中利用了多种蚀刻气体如溴化氢、氯化氢和SF6。它集成了最先进的Endura硬件和软件，用于关键温度，压力和气体成分控制的蚀刻过程。该系统能够在直径达8英寸的晶片基板中处理多种材料，如硅、砷化氙和氧化硅。AMAT AME 8100提供对工艺参数的精确控制,以提供所需的蚀刻速率和均匀性。利用实时过程监测，设备保持可重复温度控制，基板均匀暴露于蚀刻气体中。它具有可控的扩散和远程蚀刻配置,以确保设备几何的完全覆盖。除了工艺控制外，该机还提供柔性基板加载选项和创新的单面和双面蚀刻板加载功能。APPLICED MATERIALS AME 8100提供卓越的工艺一致性,高通量,低粒子量.针对特殊蚀刻要求，该工具提供精确的掩模编码能力和各种特殊蚀刻工艺气体。该资产还集成了其他功能,如流程执行日志记录、流程可追踪性以及用于优化蚀刻流程的自动配方管理。最后，AME 8100是一种用于加工各种材料的可靠、精确的蚀刻器。它具有先进的温度、压力和气体成分控制、实时过程监测、专门的过程气体，以及过程执行记录和可追踪性等附加功能。AMAT/APPLICED MATERIALS AME 8100具有卓越的工艺均匀性和较低的颗粒生成能力,一定能满足您所有的蚀刻需求。