二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AME 8330 #9226105 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS AME 8330是一种先进型号的亚网蚀刻设备，用于蚀刻材料薄膜。它能够对各种材料进行高性能、大面积的蚀刻，如多晶硅、非晶硅、硅/的。AMAT AME 8330 蚀刻器/asher允许生产各种电子设备级结构。APPLICED MATERIALS AME 8330是等离子体增强型干蚀刻器，在工艺室内压力在0.01毫巴至1.6毫巴之间。晶圆尺寸可在300毫米至450mm之间。该腔室装有7组工艺气体歧管，可用于干或湿蚀刻、沉积和灰化等各种蚀刻工艺。7种气体设置支持氧气、氮气、氙气、氯气、四氟化硅（SiF4）等气体。这允许用户执行涉及蚀刻和沉积过程的多步骤过程。该系统具有大功率磁控管电源，可节流功率设置范围从50W到400W，允许对基板的功率进行精确控制。它还具有高扭矩级驱动器，允许快速晶圆运动。加工室中的温度可以根据需要进行调整，范围从室温到300 °C。AME 8330配备了几种诊断工具，便于进行过程分析。其中包括具有高精度压力控制单元的独立离子计，以及可用于监测工艺气体和其他材料特性的发射光谱仪。此外,它还具有一台视频晶圆监视机,可用于跟踪过程中的样本情况。此蚀刻器/asher具有高度自动化和用户友好的特点,适合广泛的研究和应用。软件控制工具允许用户对复杂序列进行编程，集成软件提供了保存自定义蚀刻配方和序列的灵活性。该资产还包含配方管理软件以存储存储的配方和蚀刻条件。此外,用户可以将数据下载到本地驱动器以进行进一步分析。最后,AMAT/APPLICED MATERIALS AME 8330是一种先进型号的蚀刻器/灰化器,旨在生产各种先进的电子设备和样品结构。它设计用于高效、均匀的蚀刻,具有高精度、控制和吞吐量。AMAT AME 8330具有用户友好的界面、强大的软件和集成的工具,是各种材料蚀刻工艺的理想型号。