二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AME8111 #9148207 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AME8111是一种用于半导体制造和研究过程的精密蚀刻器/asher。它是同类产品中最先进的蚀刻器/蚀刻器,提供精确、可重复的蚀刻工艺,具有卓越的均匀性。蚀刻室配置单一垂直壁挂式设计，提供最大蚀刻吞吐量和基板尺寸8 "x 8"。利用集成的高密度等离子体发生器增强蚀刻过程的均匀性，该发生器能够产生最小1.5 torr等离子体压力的高密度等离子体条件。AMAT AME 8111先进的化学输送系统能够利用一到四种气体蚀刻各种材料。这使得它成为一个高度灵活的工具，用于不同的蚀刻应用，如浅沟槽隔离、接触削减或接触蚀刻在MOSFET或超浅结点设备。它还包括增强的偏置蚀刻能力和横向偏置功率补偿，以帮助关键蚀刻深度控制。APPLICED MATERIALS AME8111配备了AMAT专利的Power Monitor电路,可确保对工艺参数的精确控制。它还能够存储多达50种工艺配方，使操作员能够灵活快速准确地在工艺配方之间切换。使用直观的图形用户界面,操作员界面易于导航。AME8111是蚀刻各种基材的理想工具，包括金属和硅胶，如石英基材。涂有惰性耐蚀刻的含氟聚合物，使其对腐蚀性蚀刻化学品具有很高的抵抗力。其创新的径向离子注入几何形状降低了表面充电对样品的负面影响，导致蚀刻更加均匀。此外，它的高通量和精确的结果使得AMAT/应用材料AME8111一个极好的选择的研究应用。AMAT AME8111还有一个可选的清洁站,用于在蚀刻前清洗基板。总体而言，APPLICED MATERIALS AME8111 蚀刻/asher是一种可靠且用途广泛的半导体工艺工具。其精确、可重复的蚀刻工艺，灵活的化学输送系统，直观的用户界面，使其成为一个高效可靠的单元。高蚀刻速率、均匀性和特殊特性使其成为蚀刻敏感结构（如超浅结合）且损坏最小的理想工具。