二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly #293638906 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centris AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly是一款行业领先的蚀刻器/asher，用于半导体制造工艺。Mesa T2 Poly是一款提供世界级蚀刻精度、均匀性和可控性以及无与伦比的蚀刻速度和响应能力的设备。Mesa T2 Poly专为广泛的应用而设计，从单级介电蚀刻到复杂的多级介电、多晶硅和金属蚀刻。该系统还具有大面积容量的大处理窗口，实现了高吞吐量和生产率。Mesa T2 Poly拥有集成的等离子体源和高性能蚀刻配方，可以同时使用反应性气体和电离气体等离子体进行蚀刻。该装置内置的过程控制功能确保了高长宽比特性的精确过程控制和平滑蚀刻。该机器对蚀刻速率和边缘轮廓采用精确控制，从而实现精确的轮廓和具有高蚀刻均匀性的层。Mesa T2 Poly设计在灵活平台上，可配备N2、NF3、O2、Ar、SF6、CF4等多种蚀刻气源，确保了对多种金属和电介质蚀刻的精确控制和灵活性。该工具采用了最新的等离子体源和基体定位技术，在细线蚀刻、高纵横比特征和复杂的三维几何形状方面实现了无与伦比的控制和精度。资产还有一个自动化的材料交付模式，以便快速可靠地向设备交付材料。Mesa T2 Poly配备了先进的安全系统和安全功能，包括紧急关闭开关和安全壳屏障，以保护人员免受蚀刻过程中产生的有害物质或颗粒的伤害。该系统还具有用户友好的操作员界面和诊断软件，以提供无可挑剔的过程结果和可靠性。综上所述,AMAT Centris AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly是一款最先进的蚀刻器/asher,旨在提供精确的控制、高吞吐量以及无与伦比的蚀刻速度和响应能力。对于要求精确蚀刻细线、高纵横比特征和复杂的三维几何形状且精度极高的应用,该单元是一个极好的选择。