二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT #293637109 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT
ID: 293637109
晶圆大小: 12"
Etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT是一款用于半导体、MEMS和微加工行业的高性能蚀刻器/asher设备。它被设计为能够对各种材料进行精确蚀刻,包括硅、钢和铝。该系统配备了优化的气体单元,能够增强过程控制和灵活性。AMAT Centris AP AdvantEdge GT利用多阶段蚀刻工艺来确保精确的结果。它从预处理步骤开始,在该步骤中为蚀刻过程准备要蚀刻的材料。接下来是主要蚀刻步骤,其中涉及将气体引入工艺室,并从外部安装的离子源应用高功率等离子体。这种等离子体用来蚀刻基材上的材料.APPLICED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT可以处理平面和非平面表面,用于高长宽比蚀刻应用。该机设计可实现高达20:1的超高长宽比蚀刻结果。也可用于先进的深沟应用。该工具高度自动化,提供多种过程监控模式,包括负载锁定和质量流。这样可以确保蚀刻过程得到准确的控制和监控。Centris AP AdvantEdge GT还可以使用深度传感器技术测量蚀刻深度,确保达到所需的蚀刻深度。AMAT/APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT资产经过优化,可实现最佳的过程可靠性和可重复性。它坚固的材料兼容性使用户能够以更高的精度蚀刻各种材料。此外,它还具有原位清洁功能,允许用户在模型运行时对其进行清洁。最后,AMAT Centris AP AdvantEdge GT是一种高性能的蚀刻器/asher设备,专为各种材料的精密蚀刻而设计。该系统采用多级蚀刻工艺进行超高纵横比蚀刻和深沟处理。它提供自动化的过程控制,以提高准确性、过程可靠性和可重复性。凭借强大的材料兼容性,APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT是半导体和MEMS行业的理想蚀刻解决方桉。
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