二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris DPS MESA #9204005 待售
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ID: 9204005
Etcher
Unit-EFEM:
Qty / Maker / Model / Ass'y / P/N
(1) / CYMECHS / Duraport / LPM / 104851
(1) / KAWASAKI / 3TT22013-A002 / Robot / -
(1) / KAWASAKI / 30D60E-A217 / Robot controller / -
Unit-Main power:
Qty / Maker / Model / Ass'y / P/N
(1) / - / Condor UVR AC Rack / AC Rack / 0195-06523
(1) / - / Remote AC Rack / AC Rack / 0180-04470
Unit-TM:
Qty / Maker / Model / Ass'y / P/N
(1) / BROOKS / ICP8 / Robot / 0031-00334
Unit-PM:
Qty / Maker / Model / Ass'y / P/N
(6) / AM AT / Mesa / ETCH CH / -
(6) / EDWARDS / STP-XA3203CV / TMP / -
(6) / EDWARDS / SCU-1500 / TMP Controller / -
(6) / VAT / Series651 / TGV / -
(6) / AE / Paramount3013 / Generator / -
(6) / - / Paramount1513 / - / -
(6) / AE / Navigator / Match / -
(6) / - / Navio / - / -
(84) / BROOKS / GF125CXXC / MFC / GF125C
AXIOM(ASP):
Qty / Maker / Model / Ass'y / P/N
(2) / AE / 3151802-003 / Power supply / 0920-00130
(2) / MKS / VODMC33CRIBE / Vapor on demand module / -
ICP Source:
HW Component / G5 / G5 Minos / G5 Mesa
Lid heater / C-Shaped / O-Shaped / O-Shaped
RF Feed / Standard / Standard / Concentric
FE-ICP Field enhanced ICP / N.A. / Add on / Built-in integrated part of the design
Inner / Outer coils current phase / Single-mode in / Single-mode in / Dual-mode in-phase / Out-of-phase
Grounding plate / Standard / Standard / Symmetrical
RAD Radial assembly dial / Optional / Optional / Motorized - MRAD integrated part of the design
Cathode:
ESC / G3 / G3.9 / G3.9
RF Feed / Standard / Concentric / Concentric
Plasma screen / Standard / Flow equalizer / Flow equalizer
LPM:
CYMECHS Duraport 104851
EFEM Robot:
KAWASAKI 3TT22013-A002
EFEM Robot controller:
KAWASAKI 30D60E-A217
RF Generator:
ADVANCED ENERGY Paramount3013 0190-33822-001
ADVANCED ENERGY Paramount3013 0190-33823-001
Source match:
ADVANCED ENERGY Navigator 0190-28484-001
ADVANCED ENERGY Navio 0190-28484-001.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centris DPS MESA是一种用于关键半导体蚀刻/灰化工艺的蚀刻器/灰化器。它是一种可实现自动化的工具,可满足对准确性、可重复性和安全性的全球要求,支持多船和多区操作。AMAT Centris DPS MESA利用先进的臭氧输送设备（ODS）和双等离子体自对准（DPSA）技术,对半导体晶片上最复杂的特征进行精确蚀刻和灰化。DPS MESA具有先进的温度控制功能,可在整个过程中获得最佳的热特性,其独特的自动化和可追踪性选项有助于提高吞吐量和最大限度地提高晶圆厂利用率。该工具的自动化过程控制系统允许对过程进行可靠的监视和控制,从而实现更快的蚀刻速率和更好的过程准确性。一种用于快速切换气体的先进气柜，以及集成的直接驱动液体控制器，提供一致的蚀刻结果和最小化的过程漂移。DPSA功能还允许进行复合蚀刻/灰烬操作,这些操作可以针对客户应用程序进行精确定制。该单元的高真空能力确保了一个清洁和可重复的过程。集成的高级疏散机清除了蚀刻/灰烬过程中产生的大部分气体和烟雾，强大的粗加工和扩散泵减少了过程周期时间。该工具旨在集成到群集工具中,允许同时处理多个晶圆,而可选的预映射资产则可实现最佳样品放置,从而提高吞吐量。该型号的集成发电机允许对设备进行远程控制，其先进的安全功能在操作过程中保护用户。总体而言,APPLIED MATERIALS Centris DPS MESA为半导体织物提供了高效、通用的蚀刻和灰化解决方桉。其先进的技术、一流的设备安全性和自动化、高生产率在业界是无与伦比的，使其成为任何半导体应用的理想选择。
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