二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa #293627633 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa 蚀刻器/asher是一种先进的设备，设计用于蚀刻和粉刷各种材料，包括硅、金属和聚合物。Centris G5是市场上最先进的蚀刻器/asher系统之一,能够使用多种材料进行精确的蚀刻、灰化和阵列设计。该系统采用自成一体的多合一平台，采用自动化模块化设计，可直接集成组件和仪器，包括Veeco蚀刻室、Varian/RHT真空抽屉和加热器头。Centris G5具有多种集成的工艺室,每个室都设计用于处理不同的材料类型并达到特定的工艺要求。聚焦的离子束蚀刻和灰烬能够产生精确的孔和沟槽，这是由用户定义的基板定义的。加工材料的范围从硅、金属和聚合物到光掩模设计和不合格的图样设计。Centris G5还有一个多频微波发生器，允许高频蚀刻具有更大的清晰度和更宽的纵横比范围。大面积晶圆处理允许更大的体积吞吐量，使得在一个蚀刻循环中最多可以处理四种大小各异的基板。Centris G5单元还配备了提高产量和减少周期时间的功能，包括TruClean自动清洁功能，以确保基板的完整性和清洁度。此外，该机利用具有一致气流的高均匀性等离子体清洗，以加快蚀刻周期。Centris G5专为高吞吐量而设计,其周期时间比市场平均水平快20-30%。该工具提供高达100瓦的峰值蚀刻功率,实现高精度、大面积的处理,同时保持严格的公差和精确的蚀刻位置。利用高级自动化、精确控制和高级资产功能,AMAT Centris G5 Mesa是蚀刻和灰化各种材料的理想工具。自动化的模块化设计提高了吞吐量,同时提供了以高精度处理各种基板尺寸的灵活性和能力。高度集成的模型还提供了更高的产量、清洁度和循环时间，使其成为任何过程密集型蚀刻器/asher应用的理想工具。