二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa #293627635 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa是一种Etch/Asher设备，用于半导体器件应用中材料的快速、精确模式转移。它是一个批处理类型的系统，同时设计了蚀刻和灰处理模块。该单元以高度可靠、经济高效的软件包提供高级、多步骤蚀刻/处理流程。AMAT G5具有双室技术，在同一台机器中实现蚀刻和灰烬处理。集成过程电源采用独特的"高电流高功率"（HCHP）交换机配置,允许它在单个电源中提供最多50A个电源,从而实现高效、可重复的蚀刻和灰烬处理。此外，该工具还带有一个可选的原位O2预处理模块，可以添加该模块以显着加快工艺设置时间。APPLIED MATERIALS G5凭借其先进的双线光束掩蔽资产、高分辨率快门控制和主动基板温度控制，能够实现极其精确、可重复的蚀刻和灰处理。它具有可靠的温度管理模型,温度范围从-40到200°C,稳定在1⁰C设定点精度。此外，精细的工艺控制，使其能够激活和停用在亚毫秒水平的氮流成为可能。AMAT/APPLIED MATERIALS G5蚀刻和灰分设备也有很大的加工面积，最大可达500毫米晶圆面积。它可一次支持多达25个晶片,从而提高吞吐量并实现快速、高效的批量处理。此外，该系统具有室内诊断功能，能够实时监测室内状况，以发现早期故障和警报。通过各种传感器确保该装置的安全。AMAT G5 Mesa是一款专为半导体器件行业而设计的创新蚀刻/灰分机。其可靠的可靠性、生产率、过程控制和安全特性使其成为各种蚀刻和灰烬应用程序的理想选择。