二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris #293596832 待售

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ID: 293596832
晶圆大小: 12"
优质的: 2015
SYM3 Etcher, 12" Controller (2) Racks Main AC System controller Power supplies (6) Chambers: Chamber A1 Chamber A2 Chamber B1 Chamber B2 Chamber C1 Chamber C2 2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Centris是一种蚀刻器/asher,设计用于在多种材料上创建图样和结构,包括金属、半导体和塑料。这是利用光刻、干蚀刻、湿蚀刻和CVD技术的组合完成的。AKT Centris设备设计坚固可靠,使操作员能够实现高度的过程一致性。它有一个大的,易于访问的房间,能够处理大型物体。腔室配有强大的射频和直流电极,以及大型真空系统。随附的软件允许操作员轻松调整腔室参数,以及实时监控蚀刻工艺参数。该单元使用两种蚀刻技术,RIE(反应性离子蚀刻)和ICP(感应耦合等离子体)。RIE是一种基于等离子体的蚀刻方法,使用高能粒子轰击来蚀刻材料。而ICP是一种基于等离子体的蚀刻技术,利用电磁场控制电离过程。AMAT Centris能够一次蚀刻几种材料,从而实现快速高效的操作。它具有很高的蚀刻速率,并且可以使用最多三微米的特征大小。它还具有波导加热机和气体溷合能力等可选设备,使其适合一系列应用。该工具已在众多行业得到证明,从学术研究实验室到大型工业生产线。其多功能性和可靠性使其成为众多蚀刻要求中的热门选择。高度的自动化使其更易于使用,从而减少了与操作员相关的错误量,并确保了高度的可重复性。总体而言,APPLIED MATERIALS Centris是一款可靠、高效的蚀刻器/Asher,能够满足许多不同行业的需求。其强大的设计和错误的特性使其成为生产、研究和其他蚀刻应用的绝佳选择。
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