二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris #9294774 待售

ID: 9294774
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Polysilicon plasma etcher, 12" 0190-33716 SINFONIA SELOP 7 Corrosion resistant (4) Load ports, 12" (2) 0190-34832 FI Robots KAWASAKI TX210 0190-32011 MF Vacuum robot drive assembly FX Robot Missing parts: AC Rack Aligner 2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Centris是一款先进的蚀刻器/asher,设计用于制造陶瓷、玻璃、金属、聚酰亚胺和硅硅等材料中的错综复杂的图桉。该装置由两个主要成分组成--第一个是气源,典型的是O2或分子氟(F2),第二个是热源。双功能来自于两个电极板的使用,这使得所施加电压的可变调整。在材料加工方面,AKT Centris采用等离子体辅助释放方法。这包括使用等离子体局部蒸发、分解或磨损与晶圆表面接触的材料。这样可以确保将复杂的图样蚀刻或粉刷到这些基板上,同时避免对周围区域造成损坏。通过这种方法,可以产生高质量、错综复杂的图样,从而能够快速生产独特的元件。AMAT Centris还采用了多种工艺控制参数,包括温度、等离子体气体压力和施加电压。通过控制这些参数,可以达到所需的蚀刻或冲刷深度。此外,该设备在等离子体和等离子体模式下工作,允许更精确的模式创建。此外,蚀刻器还具有许多进程围栏和进程超时警报,这有助于确保在所需的公差范围内创建模式。综上所述,APPLIED MATERIALS Centris是一种高度可靠和精确的蚀刻器/asher,可用于制造陶瓷、玻璃、金属、聚酰亚胺和硅硅等材料中复杂的图桉。利用其双电极板和可变工艺控制参数,该装置能够确保精确、一致地创建复杂的图样,有助于减少生产过程中的材料浪费。此外,包括过程围栏和过程超时警报有助于防止过程漂移。因此,该设备是生产复杂组件的重要工具。
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