二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris #9394694 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Centris是一款蚀刻器和asher，设计用于提供高精度晶圆处理。该蚀刻器能够清洁和重复处理不同种类的材料，低拥有成本。AKT Centris Etcher利用一系列精密的工艺控制技术和特定于材料的蚀刻轮廓,每次都进行精确的蚀刻。该设备的外形尺寸很小，可以在有限的空间内最大限度地提高利用率，并且可以处理多个不同尺寸的晶片。AMAT Centris具有一个易于操作和监控的集成控制系统。该控制器结合了手动和自动精密腔室定位、集成隔离门锁、视觉环境监控、集成温压控制和实时过程监控以及用于单元状态监控的图形。这允许精确的过程和机器控制以及分段的过程腔室和双热区腔室来优化处理性能。该工具还配备了Advanced Plasma Tracking（APT），它使用独特的三轴坐标资产监控蚀刻和灰化过程的确切位置。这样可以将蚀刻精确定位到基板上,并消除蚀刻过程中目标边缘轮廓的漂移。该模型还采用了Exactradd,这是一种PC控制的源蚀刻匹配设备,可优化抗蚀层轮廓数据并匹配目标基板蚀刻层。此外,APPLIED MATERIALS Centris蚀刻器增强了目标配置文件的优化功能,使过程模式能够准确执行。其全封闭式全金属结构使其具有很高的可靠性和较低的维护性。带有级联过滤的双机箱可实现无污染、高质量的工艺效果,即使是长期批处理也是如此。该系统为半导体晶圆加工提供了高精度的蚀刻和灰化，具有高质量的可重复性和稳定的处理。