二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly #293802312 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly
ID: 293802312
Polysilicon etchers.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly是一种蚀刻器和asher,能够同时执行干蚀刻和湿蚀刻过程。这款蚀刻器配备了气动卡带输送设备,无需人工干预即可输送蚀刻气体、等离子体、材料、浆料等消耗品。该工艺室是密封的,能够使用高浓度的反应性气体,同时尽量减少污染。该系统采用300 mm的淋浴头电极,提供均匀的等离子体密度和高柔韧性,达到最佳的蚀刻工艺均匀性。该蚀刻器的设计目的是提供一个清洁的基板表面进一步处理。该装置为硬化钢和陶瓷材料、钨材、金属和聚合物等先进材料提供了出色的加工能力。其先进的工艺控制机器能够对工艺时间和压力等蚀刻参数以及与等离子体化学相关的参数进行精确控制。此高级蚀刻器还具有高温自动校准工具,使其能够自动补偿材料属性随时间的变化。这导致了一个可重复和可靠的过程。此外,APPLIED MATERIALS/AMAT Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly还提供了IC芯片设计者访问蚀刻后处理的权限。它配备了自动化的斜边钝化资产,其设计目的是在不产生表面粗糙度的情况下产生明确定义的边珠。该模型还与包括低温退火和快速热退火在内的一系列蚀刻后退火工艺兼容。AMAT/APPLIED MATERIALS/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly的设计满足了当今要求苛刻的半导体制造工艺的高质量要求。这种经济的蚀刻器满足或超过了当今大多数领先的IC芯片设计者和IC制造设施的要求,实现了可重复、可靠的蚀刻和钝化处理。该设备具有经济效益,使IC芯片设计者能够将相同的高质量蚀刻工艺用于各种先进材料和精密的IC芯片设计。
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