二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly #9282263 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly
ID: 9282263
晶圆大小: 12"
Polysilicon etcher, 12".
AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly是一款蚀刻器/asher设备,专为硅、砷化的的高性能蚀刻和粉刷(GaAs)等半导体材料而设计。这个最先进的系统配备了先进的工艺技术,具有出色的蚀刻和灰化能力。该单元为半导体材料的蚀刻和灰化提供了无与伦比的精度、准确性和可重复性。该机配备了Mesa自适应模式发生器(APG),这是一种先进的处理技术,用于在半导体基板上精确对齐和成形图样结构。Mesa APG还有助于消除外部环境变化的影响,如温度以及化学浓度和对最终产品的压力。此工具还具有Poly-Si-C®准直透镜,可提供高分辨率和高效的蚀刻和灰化功能,同时消除典型蚀刻和灰化过程中可能出现的低温沉积问题。为了实现可靠、可重复的蚀刻和灰化过程控制,资产还配备了石英放电氧化(QDO)控制器和QDOTM过程监控器。QDO控制器有助于为各种材料和基板的蚀刻和灰化提供稳定的电源,而QDOTM工艺监视器有助于测量关键的蚀刻和灰化参数。该模型进一步配备了获得AMAT专利的MesascanTM技术,它提供了实时处理数据信息的成像能力。此功能允许操作员监视和控制蚀刻和灰化参数,并对进程中可能出现的任何异常保持警惕。最后,设备的软件配备了一套强大的自动化工具和诊断软件,便于设置、控制和验证蚀刻和灰化过程。总体而言,AMAT Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly是一款先进的蚀刻和灰化系统,配备了一套强大的功能以确保最佳性能。其Mesa APG、Poly-Si-C准直镜和QDO控制器提供精确、可重复的蚀刻和灰度处理,而其MesascanTM技术则提供实时成像能力,用于检测过程中的任何异常。最后,它的自动化工具和软件为设置和控制蚀刻和灰化过程提供了高度的便利。
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