二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Metal #293802318 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Metal是一种蚀刻系统,旨在制造需要高长宽比蚀刻线宽和高X-Y蚀刻均匀性的设备。该蚀刻器具有机器人化的工作单元,能够提供精确和可重复的过程控制,这对于高性能的MEMS和半导体设备至关重要。AMAT Centura AP AdvantEdge G5 Metal包括可配置为满足各种工艺要求的湿蚀刻或干蚀刻工具。蚀刻工艺采用先进的ECR等离子体源,具有热晶片处理功能,可实现低拥有成本和高通量的批量生产。此外，ECR等离子体源能够提供高选择性和出色的蚀刻质量，同时最大限度地减少污染。APPLIED MATERIALS CENTURA AP AdvantEdge G5 Metal支持广泛的材料,如铜、钨和多晶硅,并允许精确控制蚀刻轮廓和特征尺寸。它具有获得专利的数字反馈子系统,可准确、可重复地控制压力、温度和流量,使其能够满足严格的公差和均匀性要求。Centura AP AdvantEdge G5 Metal还具有先进的离心机开关和晶圆预对齐器，这是先进微电子器件制造的重要特点。离心机使用户能够即时切换蚀刻配方，而无需在处理前重新对齐每个晶片。晶圆预对齐器确保在蚀刻之前进行精确的晶圆定位,并提供从一次运行中精确处理多晶圆配置的灵活性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Metal是一种一站式集成蚀刻系统,具有0.2 mu至5 mu的高长宽比蚀刻功能。它利用陶瓷室架构、先进的金属种子和修整面膜、陶瓷加热元件等一流材料，保证了工艺控制的最优、可重复性的最大化、产量的优越。此外,蚀刻器还包括用于数据采集、诊断和过程优化的全面配方和软件功能。