二手 AMAT/ APPLIED MATERIALS Centura AP DPS AdvantEdge G2 Metal #293822272 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS AdvantEdge G2 Metal是为半导体工业中最佳的蚀刻工艺而设计的蚀刻器/asher。该机工作在基于等离子体的蚀刻器配置中，利用高压对先进半导体材料进行精密蚀刻，如GaAs、SiO2、SiGe、SiC和SiN。G2 Metal蚀刻器是AP（Advanced Program）系列蚀刻机的一部分，为可靠且可重复的高性能材料蚀刻提供卓越的工艺性能。它具有一个大规模的42 "X 24"腔室，用于最大晶圆尺寸的加工，以及一个11"长的中和区，用于有效的活性物种去除。G2 Metal蚀刻器还提供一系列高级流程配置和控制功能,包括最新的机器人装卸工具、射频动力驱动功能、高级流程监控系统和高级自动化清洁系统。自动化方面，G2 Metal蚀刻器配备了最新的机器人装卸工具，使不同尺寸和工艺配置的晶片更容易处理。自动清洗设备还可确保在最短停机时间内优化蚀刻过程。蚀刻机进一步配备了温度控制系统和监控系统，用于测量重要的加工参数和条件，以实现更精确、更可重复的蚀刻。G2金属蚀刻器还有一个主动减少系统，用于捕获和中和来自工艺室的活性物种。高级过程监视单元还允许您实时控制蚀刻过程,并进行任何必要的调整以获得更一致的结果。该室还设有一个内置的安全机器，用于防止对加工室造成任何损坏或污染。总而言之,AMAT Centura AP DPS AdvantEdge G2 Metal蚀刻器是一款极其可靠且可重复的蚀刻器,具有最新的自动化装卸系统和高级工艺监控功能,可确保最佳蚀刻工艺,从而获得可靠、可重复的结果。