二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS AdvantEdge G2 Poly #9252462 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS AdvantEdge G2 Poly是一款设计用于半导体制造工艺的最先进的蚀刻器/asher。该设备配备了聚氧化物等离子体源，允许使用惰性气体或半反应性气体进行最佳蚀刻和灰化。灰化是去除污染物的重要过程，而蚀刻则用于去除不需要的材料或塑造硅或其他半导体材料。AMAT Centura AP DPS AdvantEdge G2 Poly配备了原位Opti-Lab监控系统，提供有关蚀刻和灰化过程的详细反馈，实现微调和改进过程控制。对源功率、腔室压力、法拉第屏蔽等参数进行实时测量，可用于优化工艺。APPLIED MATERIALS CENTURA AP DPS AdvantEdge G2 Poly配备了大量的工艺配方和材料兼容性选项,可实现多种材料的高吞吐量。此外，该单元还配备了温度控制机，可以在蚀刻或灰化过程中精确控制温度和能量水平。蚀刻器/asher与各种电源兼容,功率级别高达300瓦。该工具能够提供1%以内的精度，允许对等离子体和其他工艺参数进行精确控制。集成的空气袖口资产消除了潜在的污染，并允许精确控制射频功率和均匀性。该模型还配备了一系列监测工具，如嵌入式视觉设备和粒子（PTM）以及电子能量色散X射线光谱（EDX），对蚀刻和灰化过程提供进一步的控制和反馈。此外,Centura AP DPS AdvantEdge G2 Poly易于使用、无维护且经济实惠,非常适合生产当今的现代半导体材料。