二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS MESA #293625378 待售

ID: 293625378
晶圆大小: 12'
Etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS MESA是一种蚀刻器/asher设备,设计用于执行一系列的蚀刻、沉积和表面处理过程,同时具有超高真空(UHV)和低真空技术。适用于晶片蚀刻、沉积应用、提升工艺和MEMS/MOEMS器件制造等工艺。该系统配置用于化学蚀刻,并具有为每个晶片或晶片批次选择最佳可用蚀刻工艺的能力。它还配备了高度稳定的气体输送单元和专用的角度静电束源,以保证更高的精度。它的高级软件控制提供了严格调节蚀刻过程并保持每个过程的最大产量的能力。这允许用户在批处理级别自定义食谱以实现所需的结果。该机器具有用户友好的图形界面,以便于工具的设置和操作。它还具备若干分析和监测能力,能够实时监测蚀刻过程。这在以成本效益高的方式优化蚀刻工艺时特别有用。此外,资产还提供高级后处理功能,以最大限度地提高蚀刻过程的性能。这些后处理功能包括泄漏测试功能、小平面可扩展性和过程中蚀刻速率/深度测量。AMAT Centura AP DPS MESA能够使用多种加载配置,并且可以容纳直径不超过8英寸的各种基板。此外,该模型被评定用于各种气体,并具有广泛的现场综合覆盖范围。它还符合许多安全和环境标准,如SEMI-S2和F2,以确保其安全和适当使用。总之,APPLIED MATERIALS Centura AP DPS MESA是一种适合于各种蚀刻、沉积和表面处理过程的蚀刻/灰化设备。其先进的特性和功能使其成为以高效和经济高效的方式实现预期结果的理想选择。
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