二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS MINOS #293625373 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA AP DPS MINOS Dry Strip Asher是一种用于基材和薄膜干蚀刻的设备。这种先进的蚀刻系统提供了当今市场上所有干式蚀刻装置的最高统一性。其独特的设计允许快速高效地蚀刻大表面,具有出色的均匀性和可重复性,为众多薄膜沉积、蚀刻和钝化应用提供了经济高效的解决方桉。AMAT Centura AP DPS MINOS利用工业级等离子体源和先进的过程控制技术实现了高度统一和可重复的过程。蚀刻过程由连接到PLC的可编程控制器控制。这样可以确保工艺参数和定时始终保持一致,从而实现均匀的厚度蚀刻,并且在蚀刻过程中或在蚀刻项目时将其减至最少。先进的晶圆图样算法进一步提高了蚀刻的均匀性，该算法集成到机器中，以确保针对被蚀刻基材的类型对蚀刻工艺进行完美的优化。该工具还具有全方位的安全功能。其中包括受保护的电源、磁屏蔽的工艺室以及一系列警报和监视器,以确保该工艺安全运行并符合制造商的准则。APPLICED MATERIALS Centura AP DPS MINOS提供了目前可用的所有干蚀刻资产中最高的蚀刻均匀性。其先进的过程控制技术，包括串联过程监控，确保可重复性、可靠性和质量。其复杂的晶圆图样算法确保了该过程针对被蚀刻的特定基板进行优化。此外,模型的安全功能可确保进程安全运行。这种先进的蚀刻设备能够为众多薄膜沉积、蚀刻和钝化应用提供经济高效的解决方桉。
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