二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS #293603771 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS
ID: 293603771
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Polysilicon etcher, 12" 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS是一种等离子体增强的深蚀刻(pdeeper)蚀刻器/asher。它用于金属和电介质的快速、精确和可重现的蚀刻。这个工具是一个高度通用的蚀刻系统,可以处理广泛的应用,包括那些需要高度公差或化学控制的应用。AMAT Centura AP DPS是一款高级蚀刻器/asher,设计用于处理多种材料,包括金属和电介质。它的腔室尺寸为12英寸x 12英寸,允许处理一个大的基板。该系统还有一个双级等离子体源,允许为每个应用程序编程各种蚀刻参数。集成冷却回路使蚀刻室保持恒定温度,确保最大可重复性。APPLIED MATERIALS CENTURA AP DPS利用业界领先的下一代晶圆培训技术,使其能够精确蚀刻、切割、刻印或标记微观图样,精确度达到0.10微米或更高。它还设计用于增强过程控制和无与伦比的可重复性。它的自动化晶片训练、对准和定位提供了高精度和可靠性,从而实现了更准确和一致的蚀刻结果。Centura AP DPS还配有先进的Centura ASC techron可调电源和用于卓越阴极放电中和的Field Neutralizer线圈。所有这些功能协同工作,提供干净高效的蚀刻,以实现均匀性和精确度。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS设计为节能,每个蚀刻和灰化步骤仅使用必要的电源。其先进的监控和容错系统有助于确保最大程度的可靠性和性能,而其可选的烟尘过滤器则有助于将颗粒捕获在废气流中。最后,内置的安全功能有助于确保机器始终安全和符合行业法规。总而言之,AMAT Centura AP DPS凭借其先进的功能,是一款高性能的蚀刻器/asher,可为用户提供快速、可靠且可重复的解决方桉来满足其处理需求。它具有大量确保高精度和可重复性的功能,以及卓越的过程控制。此外,其节能设计可帮助节省成本,并为用户提供要求最苛刻的蚀刻应用程序所需的可靠性和灵活性。
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