二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS #9296966 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS是一种全自动蚀刻器/asher设备,旨在以具有竞争力的速度生产超清洁和精确的特性。一个先进的标线系统允许多个蚀刻配方可以轻松编程和执行，而双工艺室设计则允许在一个蚀刻步骤中进行背对背工艺。利用具有高压RIE功能的强大等离子体,AMAT Centura AP DPS能够产生高纵横比的特性,并具有最小的回充效果和精确的侧壁角。此外，这一单元旨在提供灵活的工艺灵活性，并提供各种工艺化学方法，以及工艺监测选项，以确保无缺陷、可重复的性能。APPLIED MATERIALS CENTURA AP DPS提供直观的软件和高级N2/O2/SF6控制,使操作员能够轻松了解蚀刻和切换化学。Centura AP DPS配备了为全球RIE蚀刻设计的真空室，以及用于高级金属蚀刻的低温低温德加特性。它还具有一个内置的狭缝泵能在广泛的压力和真空水平，以及一个可更换的腔室易于维护。机器还包括多个用户，以容纳具有不同经验和流程的团队成员。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura AP DPS与CMOS兼容,可产生0.1至5µm的线宽、高达20：1的线性长宽比以及高达8µm的特征深度控制。由气体面板、发电机和转子原位监控器组成的集成控制工具可实现动态过程控制和精确调整。这项资产还配备了自动清洗模型，该模型使用集成化学管理设备进行高效清洁，并配备用于串行运行过程的自动晶圆处理系统。使用AMAT Centura AP DPS,用户可以在有或没有支持的情况下获得超干净、精确的功能。这个单元被证明是那些寻找蚀刻/粉碎机进行研发，以及抢手生产要求的人的绝佳选择。