二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Avatar #9375621 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Avatar是一种高度先进的蚀刻和asher设备,用于半导体制造。其设计可提供卓越的晶圆均匀性和卓越的蚀刻质量,从而实现卓越的设备性能。该系统采用单室设计，利用集成的等离子体源创建精确的等离子体蚀刻和灰化模式，以提供最佳结果。这个等离子体源产生电离气体的溷合物，然后与底物的表面反应以改变其性质。该组合蚀刻和灰化过程产生非常精细的特征下降到1微米，在整个晶片高均匀性。AMAT Centura Avatar还安装了一个专有的模式发生器电路,可实现准确的模式注册。该发生器采用X射线光刻和电子束光刻的组合，以确保特征放置和对准的精度。它还允许高吞吐量与快速蚀刻和灰度速率和阵列精度在广泛的温度范围内。此外，Avatar还有一个集成的PerfectMatch腔室，可以提高蚀刻表面质量，并改进各种半导体器件性能指标。这个腔室有一个倾斜的晶片加载单元，一个旋转的晶片载体，和一个压力容器，调整以适应广泛的晶片大小。最后，阿凡达包括内置的安全功能，如真空/泄漏检测机和氮气/氙气喷射，以保护工人和工具免受等离子体污染。各种工艺容器提供卓越的真空能力和动力传递能力，所有系统都采用自动压力集轮廓，在蚀刻过程中提供卓越的压力调节。APPLIED MATERIALS Centura Avatar是一种强大的蚀刻和灰化资产,能够产生极高精度和均匀性的高质量特征。其先进的模式发生器、集成的PerfectMatch腔室以及精密的安全特性使其成为先进半导体制造的理想选择。