二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa #9286855 待售

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa是一种生产级设备，专门从事蚀刻/灰烬工艺。它专为高产量、高性价比的制造，以及深亚微米的几何形状而设计。Centura DPS II配备了最先进的并行双光束光学设备,可实现快速基板加热以及精确的垂直和水平对准,从而实现精确的蚀刻/灰烬轮廓。其光学系统的最大基板尺寸为6英寸乘6英寸，采用1级激光。该单元利用多个腔室进行蚀刻工艺优化，而其串联的直接驱动质量流控制器有助于确保精确的工艺控制和最大的可重复性。Centura DPS II由等离子体发电机、射频电源、离子源电源、负载锁定和基板传输组件组成,可配置为适应大气、真空或低温处理。其过程控制模型也可编程，允许等离子体化学和停留时间的实时优化，允许精确和可重复的蚀刻/灰化结果。DPS II由控制软件ADVANTEdge Control Software提供支持,该软件可对设备进行完整的实时监控,并能够自动调整以保持最佳蚀刻性能。它还具有针对蚀刻/灰分优化的预编程配方,允许轻松处理,并具有操作员可以存储和访问的流程配方库。该机器设计为高效、强大且可靠的蚀刻器/asher,提供最高级别的蚀刻均匀性和卓越的工艺可重复性。DPS II可用于原型和生产级别的应用程序,非常适合生产高端IC和RF组件。