二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa #9390583 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa是一种下一代先进的蚀刻/asher技术，用于不断收缩的技术和半导体器件。该生产设备集成了先进的高速铣削和蚀刻以及超精确环境中的光刻蚀刻，在亚微米级提供了高精度和可重复性性能。它采用先进的机器人多站架构，采用两阶段操作，结合化学蚀刻工艺去除不需要的材料。该系统采用开放式框架架构构建,只需一个小的外部框架即可安装多种工艺工具,使其成为当今先进纳米技术和半导体研究与生产的理想选择。此外，一个强大的闭环控制单元（Cloce-Loop Control Unit，CLCS）内置在机器中，允许对生产过程进行完全控制和自动化。这样可以确保刀具以最佳性能运行并产生一致的产量。AMAT Centura DPS II 蚀刻器/asher提供了广泛的蚀刻和研磨工艺能力,允许生产最先进和质量最高的产品。它配备了提供高纯度气体兼容性和气体溷合能力的气体输送资产。该模型与APPLIED MATERIALS P5000、DPS和E3化学输送系统完全兼容，能够接受几组定制气流参数。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS II 蚀刻器/asher能够处理每个工艺周期最多200个晶圆的批量大小,使其成为大批量生产环境的理想选择。它具有先进的DataCube功能,能够轻松收集和绘制数据,从而轻松解释和比较过程数据。该设备具有强大的安全系统,可提供远程报警和自动关闭功能。机器还配备了最新的诊断工具，如Advanced Yield Reports、OCR/Loop Tracking、Vacuum Status、Process Cycle Monitor和Total Event Monitor。还集成了流程模拟套件,以优化流程/工具并促进自适应配方的开发。AMAT Centura DPS II 蚀刻器/asher被设计为用于先进技术半导体工艺的可靠、高性能的蚀刻器/asher。