二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa #293586295 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa Asher/Etcher是一种高容量蚀刻和灰化设备，设计用于半导体加工中薄膜和超浅结的沉积。该系统使用两个独立的、可独立控制的处理室来启用具有不同参数的多层蚀刻。DPS II Mesa Asher/Etcher配备了两个独立的铝反应和扩散室，能够同时蚀刻两个不同蚀刻参数的独立层。这些腔室装有基板，上游和下游腔室都用于蚀刻。一个加热的转移单元用于在单独的腔室之间移动晶片。该机专为在先进半导体技术领域的应用而设计，包括形成堆叠多晶SiON和超浅结、后端线（BEOL）介电蚀刻、Cu/lell-K等应用等器件。该工具提供超精确的高速蚀刻高达50毫米晶圆在一个顺序运行。它还提供了在多种条件下高达0.2% ±的最佳均匀性。DPS II Mesa Asher/Etcher配备了包括ActiveProcess™控制在内的多种技术，用于监测和维护现场蚀刻深度和均匀性的实时过程控制。这项技术使资产能够保持配方精度，晶片与晶片的均匀度比超过1%。该车型还搭载了OptiFlo Plus™，采用高压、低压、遥控、直接气体注入的组合方式向两个腔室供应工艺气体。气体输送设备耐火、低噪声，减少了排放，因此提高了工作环境的安全性。总体而言,AMAT Centura DPS II Mesa Asher/Etcher为半导体蚀刻和灰化应用提供了可靠、准确且高通量的解决方桉。该系统采用光学控制工艺参数、多用途基板处理和现场深度映射，非常适合先进的设备加工和制造。
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