二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa #293608133 待售
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ID: 293608133
晶圆大小: 12"
Etcher, 12"
EFEM: KAWASAKI ATM Robot
(4) Process chambers:
(3) DPS II Chambers
Axiom chamber
Buffer chamber (VHP + Robot)
Process: Poly
AC Rack.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS II Mesa是一款功能强大的蚀刻器/asher，用于半导体应用。具有超高程定向蚀刻和灰度处理能力,具有较高的吞吐量和过程控制能力.AMAT Centura DPS II Mesa利用高清等离子体源、先进的过程控制和独特的集成硬件平台,在最具挑战性的应用中提供卓越的灰度和蚀刻性能。APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa是一种允许半导体精密处理的工具。它有三种不同的来源类型-正面（正偏置）、负面（负偏置）和中性（非偏置）-用于不同的蚀刻和灰化场景。它可以容纳直径最大为8英寸的晶片，并且可以同时处理多个晶片。Centura DPS II Mesa具有先进的蚀刻/灰烬工艺控制功能,允许用户在多种应用中实现精确的结果,如浅层沟槽隔离（STI）、光致抗蚀剂灰化和金属蚀刻。该工具还支持先进的操作参数，包括气体溷合物、射频功率和腔室压力，可以实时编程和监控。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa被设计为高度可靠、高效且易于使用。它具有一个可减轻维护负担的自我监控系统,以及一个内置的小孔,可方便对过程至关重要的晶圆进行跟踪,从而实现准确高效的处理。它还有一个用户友好的界面，可以方便的参数设置和管理。AMAT Centura DPS II Mesa是一款为半导体应用提供卓越性能和可靠性的蚀刻器/asher。它具有先进的过程控制技术和独特的硬件配置,可提供精确的蚀刻/灰分结果。使用方便，维护负担低。对于需要对其半导体应用进行高精度、高通量处理的用户来说,它是一个理想的解决方桉。
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