二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal #293624189 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal
ID: 293624189
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Metal etcher, 12" EFEM Process: Metal TM Module (3) G2 Metals AC Rack Side storage (2) SMC Chillers (3) Cathode chillers Utility box Tote 2005 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS II Metal是一种用于制造半导体器件制造中集成电路的湿蚀刻和asher设备。与传统的湿蚀刻工艺相比,AMAT Centura DPS II Metal提供了显着提高的性能、效率和产量。该系统由两个主要组成部分组成。第一个组分是包含聚合物源、苏金射流和真空源的腔室。该腔室的设计实现了非常均匀的加工,消除了表面缺陷,实现了严格的工艺控制。聚合物源中的磁体可以配置用于低能和高能操作,从而实现更精确的过程控制。此外,Sujin射流创建了一个统一的蚀刻图样,允许更多的控制蚀刻轮廓比传统的湿蚀刻工艺。设备的第二个组件是控制器。它由带有真空机的可编程逻辑控制器(PLC)、腔室压力传感器和干柜组成。PLC为腔室和真空工具提供在蚀刻和灰化操作过程中设置点和控制命令,以增强过程控制。室内的压力传感器通过监测大气压来帮助提供准确的过程控制,以确保均匀的蚀刻结果。干柜中含有对氧气敏感的部件,也有助于温度控制,确保资产保持在稳定的温度范围内。此外,该模型还有一个自动加载设备,通过每次将晶片加载到同一位置来确保可重复的结果。总体而言,APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal具有多种功能,使其在性能、效率和产量方面成为半导体器件制造的绝佳选择。由于其精确的过程控制功能,它可以快速、最小程度地产生高质量的结果。自动加载系统还有助于最大限度地减少晶片之间的任何不一致。其用户友好的界面使调整过程设置更容易满足不同的蚀刻和asher需求。所有这些优势使Centura DPS II Metal成为半导体行业清洁和蚀刻需求的可靠选择。
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